近日，林德宣布一台全新的SPECTRA高纯氮气生产装置正式运行，为位于上海张江高科技园区的一家大型半导体制造商的扩建项目供气。
从直接生产工艺，到各种半导体制造系统的常规吹扫和惰化，此次新建的半导体厂将在生产各环节中全面采用林德供应的氮气。除了负责该全新氮气生产装置的安装和运行工作，林德旗下合资企业联华林德（Linde LienHwa ）还将通过管道向张江园区中的其他客户供应氮气。
联华林德中国区总裁唐瑞平先生表示：“通过与客户的紧密合作，针对其高端晶圆加工厂的需求，联华林德完成了高纯度气体基础设施扩建项目。通过这项新的投资，我们很高兴在为客户的业务增长提供安全可靠保障的同时，还升级了原有的基础设施以满足电子市场不断增长的需求。”